激光光刻是什么意思 拼音应该怎么读
![]() | 拼音 | jī guāng guāng kè |
书写 | 激光光刻 | |
基本解释 | 利用光学-化学反应原理等方法,将电路图形刻印在介质表面,达到想要的图形刻意功能的新型微细加工技术。 |
扩展释义
激光光刻介绍
激光光刻是一种高精度、高效率的微电子加工技术。它是利用激光束直接照射在材料表面,使材料的特定区域发生物理化学变化,从而实现对微电子元件的切割、刻蚀、抛光等一系列加工处理。
相较于传统的化学腐蚀加工、机械雕刻加工等技术,激光光刻具有更高的加工精度、更小的加工误差和更加环保、经济的特点。因此,激光光刻技术已广泛应用于半导体、电子、微电子、光电子、信息技术等领域,成为这些领域的重要基础和核心技术。
激光光刻的工作原理
激光光刻的核心是光刻光刻胶。激光束通过光刻胶可以拓扑出光刻结构。在光刻胶的照射下,激光光刻系统从计算出来的数据中,以照片为蓝本制作远程深度图(digital mask)。然后光束通过光刻机器,照射在这部分图像上。这个过程即光刻胶窗前的浸润形成的瞬态图像,即为光刻图案。
然后在光刻过程之后,将铝、铜、银等金属材料直接成像。之后就可以加工金属。
激光光刻的应用领域
激光光刻应用领域非常广泛。在半导体工业中,激光光刻可以用来制作芯片、集成电路等微电子元件。在光电子产业中,激光光刻可用于生产激光器、光纤波导等光学元件。在精密仪器制造、生物医学、航空航天等领域,激光光刻也有着广泛的应用。因此,激光光刻技术在现代科学技术的发展中具有重要的作用。
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